Poröses Silizium
Im Laufe der letzten Jahre ist poröses Silizium zum Gegenstand zahlreicher F&E Arbeiten geworden. Dieses verstärkte Interesse beruht auf der Vielfalt von vielversprechenden Anwendungsmöglichkeiten dieses neuen Materials, wie z.B. bei optischen und biomedizinischen Geräten, und Gassensoren.
Wie bei den meisten neuen Material-Technologien war die Festlegung von Methoden zur Charakterisierung von kritischen Materialparametern auch bei bei der Entwicklung von porösem Silizium ausschlaggebend. Für poröses Silizium sind Beschichtungsdicke und Porosität die wichtigsten Parameter.
Applikationsnotiz anfordernFür verarbeitete Schichten sind weitere Parameter wie der Anteil von imprägniertem Material oder die Anzahl der absorbierten Moleküle in Sensoren von Bedeutung. Filmetrics hat einen einzigartigen Analysealgorithmus entwickelt, der Dicke, Brechungsindex und Porosität von porösem Silizium mit einem einzigen Mausklick darstellt. Dieser Algorithmus wird mit dem Kauf von F20, F40 und F50 Geräten kostenlos geliefert.
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Filmetrics bietet Ihnen kostenlose Testmessungen an – Ergebnisse liegen normalerweise innerhalb von 1-2 Tagen vor.
Anwendungsbeispiel
Poröse Siliziumschichten können auf vielerlei Arten charakterisiert werden, aber Dicke und Porosität sind die maßgeblichen Parameter. Im Normalfall werden nichtdestruktive Methoden, wie beispielsweise gravimetrische Messungen, eingesetzt, um die Porosität zu messen, allerdings ist die Genauigkeit dieser Methode sehr gering. Das Filmetrics F20, welches eine nichtdestruktive Messmethode verwendet, kann die Dicke und die optischen Eigenschaften der porösen Siliziumschichten messen. Der patentgeschützte Algorithmus von Filmetrics kann auch die Porosität der Schicht mit nur einem Mausklick messen.Messaufbau:
Benutztes Rezept:
Messergebnis:
