R50/R54-Serie

Mapping des Flächenwiderstands

Die Mapping-Tools der Filmetrics R-Serie vereinen die von KLA seit über 45 Jahren entwickelte und perfektionierte Schichtwiderstandstechnologie mit der in den letzten 20 Jahren vom Filmetrics-Team verbesserten Benchtop-Gerätetechnologie und Benutzeroberfläche.

Für dünne Metall- und Ionenimplantation-Schichten wird die kontaktbasierte Vierpunktmesssonde (4PP) empfohlen, für dickere Metallschichten und weiche oder flexible leitende Oberflächen die berührungslose Wirbelstromsonde (EC). Diese Techniken unterstützen eine breite Palette von Messungen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf die folgenden: Das Design des Filmetrics R50 ist für eine Vielzahl von Probentypen mit erweitertem Abstand und automatischem Mapping optimiert, bei dem rechteckige, lineare, polare und kundenspezifische Map-Muster verwendet werden können.
Die Systeme der KLA Instruments™ R54-Serie bieten die Messleistung des R50 in einem lichtdichten Gehäuse mit zusätzlicher Funktionalität zur Unterstützung automatisierter X-Y-θ-Tische für das vollständige Mapping von Halbleiter- und Verbindungshalbleiterwafern mit maximal 200 mm oder 300 mm Durchmesser. Erfahren Sie mehr →