R50/R54-Serie

Mapping des Flächenwiderstands

Die Mapping-Tools der Filmetrics R-Serie vereinen die von KLA seit über 45 Jahren entwickelte und perfektionierte Schichtwiderstandstechnologie mit der in den letzten 20 Jahren vom Filmetrics-Team verbesserten Benchtop-Gerätetechnologie und Benutzeroberfläche.

Für dünne Metall- und Ionenimplantation-Schichten wird die kontaktbasierte Vierpunktmesssonde (4PP) empfohlen, für dickere Metallschichten und weiche oder flexible leitende Oberflächen die berührungslose Wirbelstromsonde (EC). Diese Techniken unterstützen eine breite Palette von Messungen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf die folgenden:
  • Messung der Dicke von Metallfilmen und Rückseitenschichten
  • Resistivität des Substrats
  • Flächenwiderstand
  • Dicke oder Resistivität von dünnen Schichten
  • Flächen- und Volumenleitfähigkeit
Das Design des Filmetrics R50 ist für eine Vielzahl von Probentypen mit erweitertem Abstand und automatischem Mapping optimiert, bei dem rechteckige, lineare, polare und kundenspezifische Map-Muster verwendet werden können.
Die Systeme der KLA Instruments™ R54-Serie bieten die Messleistung des R50 in einem lichtdichten Gehäuse mit zusätzlicher Funktionalität zur Unterstützung automatisierter X-Y-θ-Tische für das vollständige Mapping von Halbleiter- und Verbindungshalbleiterwafern mit maximal 200 mm oder 300 mm Durchmesser. Erfahren Sie mehr →

Modellspezifikationen

Modell Sensor-Typ Messbereich Maximaler Map-Durchmesser XY-Tischbereich Maximale Probenhöhe
R50-4PP Kontakt 4PP 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 100mm 100mm x 100mm 100mm
R50-EC Berührungsloser Wirbelstrom 1mΩ/sq - 50Ω/sq 100mm 100mm x 100mm 100mm
R50-200-4PP Kontakt 4PP 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 200mm Rund 200mm x 200mm 100mm
R50-200-EC Berührungsloser Wirbelstrom 1mΩ/sq - 50Ω/sq 200mm Rund 200mm x 200mm 100mm
R54-200-4PP Kontakt 4PP 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 200mm x 200mm 100mm x 100mm 15mm
R54-200-EC Berührungsloser Wirbelstrom 1mΩ/sq - 50Ω/sq 200mm x 200mm 100mm x 100mm 15mm
R54-300-4PP Kontakt 4PP 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 300mm Rund* 200mm x 200mm 15mm
R54-300-EC Berührungsloser Wirbelstrom 1mΩ/sq - 50Ω/sq 300mm Rund* 200mm x 200mm 15mm
*Automatisierte X-Y-θ-Tische

Flächenwiderstand und andere Messanwendungen

  • Substrate für Halbleiterwafer
  • Glassubstrate
  • (flexible) Kunststoffsubstrate
  • Merkmale auf strukturierten PCBs
  • Solarzellen
  • Schichten und Strukturen auf Flachbildschirmen
  • Metallfolien
  • Leitfähige Gummis und Elastomere