Funktionale Beschichtungen
Filmetrics bietet eine vollständige Produktlinie für das Messen von nicht-metallischen Halbleiter-Prozessschichten.
Das F20-Schichtdickenmessgerät ist die kostengünstigste Lösung für die punktweise Messung von Schichtdicke und Brechungsindex.
Für Schichtdickenmessungen im mikroskopischem Maßstab (bis zu 1 µm oder sogar weniger) lässt sich das F40 an Ihrem Mikroskop anbringen.
Für eine kostengünstige Methode zum automatischen und punktweisen Mapping von Deckschichten, nutzen Sie das F50. Das F80 bildet die Schichtdicke auf Produkt-Wafern ab.
Unsere patentgeschützte, bildgebende Schichtdickenmesstechnologie resultiert in einer einfacheren Einrichtung, weniger Rezepten, robusterer Mustererkennung, sowie viel niedrigeren Kosten als herkömmliche Metrologie-Werkzeuge. Sowohl autonome als auch integrierte Versionen sind verfügbar.
Kontaktieren Sie unsere Dünnschichtexperten, um Ihre Anwendung zu funktionalen Filmen zu diskutieren.
Filmetrics bietet Ihnen kostenlose Testmessungen an – Ergebnisse liegen normalerweise innerhalb von 1-2 Tagen vor.