Siliziumwafer und -membrane
Filmetrics bietet Tabletop, Mapping und In-situ Schichtdickenmessgeräte an, die die Messung von Siliziumwafern und Membranen im Schichtdickebereich von 1nm bis 2mm ermöglichen.
Applikationsnotiz anfordernKontaktieren Sie unsere Dünnschichtexperten, um mit Ihnen Ihre Schichtdickemessungen bezüglich Si-Wafern und Membranen zu besprechen.
Filmetrics bietet Ihnen kostenlose Testmessungen an – Ergebnisse liegen typischerweise innerhalb von 1 – 2 Tagen vor.
Schichtdickenbereich* | Anwendung | Produktreihe |
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5µm - 1mm | Punktmessung | F3-sX |
1nm - 200µm | Punktmessung | F20 |
3nm - 1mm | Schichtdickenmapping | F50/F60 |
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Amorphes & Polysilizium
Messen Sie die Dicke, die Kristallinität, n und k von allen Formen von amorphem und polykristallinem Silizium.
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CMP
Unsere F80 Schichtdickenmessgeräte sind für die Messung von Oxiden, STI und metallischen CMP Prozessen entwickelt worden.
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Dielektrika
Filmetrics hat Instrumente auf Lager, die in der gesamten Industrie dielektrische Schichten messen.
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Dicke von Hardcoats
Filmetrics Systeme werden in der Automobildindustrie eingesetzt, um die Schichtdicke von Hardcoat und Primern zu bestimmen.
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IC Fehleranalyse
Das F3-sX wird von der Chipindustrie eingesetzt, um das rückseitige Ausdünnen von Silizium zu messen.
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ITO & andere TCOs
Geschützte Analysealgorithmen ermöglichen die Messung der Schichtdicke von TCO, des Index und des Absorptionskoeffizienten mit nur einem Mausklick.
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Medizinische Hilfsmittel
Messen Sie die Dicke angioplastischer Ballons, Stents und Implantatbeschichtungen sowie viele andere.
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Schichtdicke von Metallen
Messen Sie die Schichtdicke, den Brechungsindex und Absorptionskoeffizienten von Metallschichen mit einer Dicke von bis zu 50nm.
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Mikrofluidik
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OLEDs
Messen Sie die Schichtdicke und den Brechungsindex von NPB, AlQ3, PEDOT, P3HT, Teflon, etc…
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Ophthalmische Beschichtungen
Benutzen Sie das F10-AR um die Reflektivität und die Farbe zu messen, zusätzlich ist es möglich die Schichtdicke von AR- und Hardcoat-Beschichtungen zu messen.
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Parylenbeschichtungen
Legen Sie Ihre mit Parylen beschichteten Proben einfach auf den Probentisch des F3-CS um die Schichtdicke zu messen!
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Photolacke
Wir haben bereits dutzende Photolacke gemessen und können Datensätze mit Brechungsindexdaten für beliebige Photolacke generieren.
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Poröses Silizium
Messen Sie die Schichtdicke, Porösität, den Brechungsindex und k von porösen Siliziumschichten.
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Funktionale Beschichtungen
Filmetrics bietet eine breite Palette an Produkten für die Messung von funktionalen Halbleiterbeschichtungen an.
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Brechungsindex & k
Messen Sie den Brechungsindex und den Absorptionskoeffizienten über einen Wellenlängenbereich von maximal 190-1700nm.
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Siliziumwafer und -membrane
Wir bieten Tischsysteme, Mappingsysteme und Systeme für Produktionsreihen an, die Silizium bis zu einer Dicke von 2mm messen können.
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Solaranwendungen
Messen Sie CdTe, CdS, CIGS, amorphes Si, TCOs, Antireflexbeschichtungen (AR) und mehr...
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Lehrlabore für Halbleitertechnik
Mehr als fünfzig F20-Systeme von Filmetrics sind an universitäre Lehrlabore ausgeliefert worden.
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Bandbeschichtungen
Systeme von Filmetrics werden häufig in der Polymerindustrie eingesetzt um in-line Schichtdicken zu messen.
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