Was wir messen

Mit Hilfe spektraler Reflektivität | Mit Hilfe optischer Profilometrie

Mit Hilfe spektraler Reflektivität

Material: Alle semitransparenten Schichten, sowie alle Halbleiter (transparente und nicht-transparente). Die zu untersuchende Schicht sollte zumindest eine leicht glänzende Oberfläche besitzen.

Schichtdickenbereich Der Schichtdickenbereich, den unsere Geräte messen können, ist unter anderem materialabhängig. Als Anhaltspunkt kann man sagen, dass der Brechungsindex für Schichten, die dicker als 10nm sind, gemessen werden kann.

Der Brechungsindex kann für Schichten mit einer Dicke von über 10nm bestimmt werden (dieser Wert ist materialabhängig).

Anzahl der Schichten: Normalerweise können wir bis zu drei individuelle Schichten in einer Mehrschichtanordnung messen. Unter günstigen Bedingungen können wir eine weitaus größere Anzahl von Schichten untersuchen.

Substratmaterial: Liegt die Schicht auf einem rauen Substrat (dies schließt die meisten Metalle ein) kann im Allgemeinen der Brechungsindex der Schicht durch unsere Messungen nicht bestimmt werden. Zusätzlich können raue Substrate die minimal messbare Schichtdicke auf ca. 50 nm begrenzen.

Erforderliche Information: Wir müssen die Abfolge, Zusammensetzung und nominelle Schichtdicke von allen vorhandenen Schichten kennen, unabhängig davon, ob sie gemessen werden sollen oder nicht.

Mit Hilfe optischer Profilometrie

Unser optisches Profilometer Profilm3D misst Oberflächenrauheit/-topografie und Stufenhöhen im Bereich von 0,1 nm bis 10 mm. Nahezu jedes beliebige Material kann damit gemessen werden. Die Messung von Stufenhöhen ist die ideale Methode, um die Dicke lichtundurchlässiger Materialien wie Metalle zu messen. Klicken Sie hier, wenn Sie weitere Informationen benötigen.

Kontaktieren Sie unsere Dünnschicht-Experten, um Ihre Anforderung in der Schichtdickenmessung kompetent zu diskutieren.

Filmetrics bietet Ihnen Kostenlose Probemessungen - Ergebnisse erhalten Sie in der Regel innerhalb von 1-2 Tagen.