ITO & andere TCOs
Leitfähige transparente Metalloxide (TCO) spielen bei der Herstellung von Flüssigkristall- und OLED-Diplays als Leiter und Anodenmaterial eine bedeutende Rolle. Wie bei jeder anderen Dünnschichtanwendung ist eine genaue Kenntnis der Schichtdicke auch in diesem Fall kritisch. Für LC-Displays bedeutet das eine genaue Bestimmung der Dicke des Polyamids und der Flüssigkristallschicht. In der OLED-Technologie sind die Dicken der lichtemittierenden bzw. ladungsträgerinjizierenden Schichten und der einkapselnden Schicht wichtig.
Optische Methoden zur Charakterisierung von Mehrschichtanordnungen wie z.B. spektrale Reflexion oder Ellipsometrie setzen voraus, dass für jede Schicht in der Anordnung die Dicke und die optischen Konstanten (Brechungsindex und k) entweder durch direkte Messung oder mathematische Modellierung genau bekannt sind.
Applikationsnotiz anfordernSobald eine Schicht aus ITO (Indium-Zinn-Oxid) besteht, ist die Messung bzw. Modellierung der anderen Schichten weitaus schwieriger, da ITO ein einzigartiges Reflektionsprofil hat, welches die anderen Schichten überlagert. Daher muss der Brechungsindex der ITO-Schicht genau bestimmt werden bevor die Dicke der anderen Schichten gemessen werden kann.
Außerdem ist es notwendig, den Brechungsindex der ITO-Schicht korrekt zu bestimmen, um verifizieren zu können, dass diese Schicht die gewünschte Leitfähigkeit aufweist oder um die Dicke einer ITO-Schicht im Displayglas zu bestimmen.
Die Filmetrics ITO Lösung
Filmetrics hat mit dem F20-EXR eine einfache und kostengünstige Lösung entwickelt, die unter Nutzung von spektraler Reflexion genaue Schichtdickenmessungen bei ITO ermöglicht. Diese Lösung ist das Ergebnis der erfolgreichen Kombination eines neuen ITO-Modells mit dem breiten (400-1700 nm) Wellenlängenbereich des F20-EXR. Diese Kombination erlaubt eine robuste „Ein-Klick“ Analyse von ITO-Schichten. Durch die Charakterisierung der ITO-Schicht wird der Weg für die weitere Analyse der restlichen Display-Schichten frei gemacht.
Unabhängig davon, ob Sie in der Grundlagenforschung tätig sind oder sich mit der Serienproduktion von Displays beschäftigen, bietet Ihnen Filmetrics die richtige Lösung für Ihre Anwendung:
Messen von Flüssigkristall-Schichten- Polyimide, Hardcoat, LC, Luftspalte
- Lichtemission, Einspeisung, Puffer, Einkapselung
Für nicht gemusterte Proben wird das Schichtdickenmessgerät F20 empfohlen. Für gemusterte Schichten haben die F40 Systeme bei Display-Anwendungen breite Verwendung gefunden.
Filmetrics bietet Ihnen kostenlose Testmessungen an ihren ITO oder TCO-Proben an – Ergebnisse sind für gewöhnlich innerhalb von 1-2 Tagen verfügbar. Kontaktieren Sie unsere Dünnschichtexperten um Ihre Anwendung auf dem Gebiet der Displaymaterialien und TCO zu diskutieren.
Anwendungsbeispiel
In diesem Beispiel messen wir erfolgreich ITO-Beschichtungen auf zwei Substraten: Saphir und Borosilikatglas (BSG). Indem wir das F10-RTA-EXR in Verbindung mit dem von Filmetrics entwickelten ITO-Dispersionsmodel einsetzen, können wir leicht die Schichtdicke, den Brechungsindex und den Absorptionskoeffizienten bestimmen, indem wir Reflektion und Transmission simultan zwischen 380 und 1700nm messen. Dieser große Wellenlängenbereich ist notwendig, da die Dispersion von ITO auf unterschiedlichen Substraten sehr verschieden verläuft.Messaufbau:
Benutztes Rezept:
Messergebnis:
