F60-c Schichtdickenmessgerät für Produktionsumgebungen

Automatisiertes Kassette-zu-Kassette-Dünnschichtdicken-Mapping-System für Produktionsumgebungen

Die Filmetrics® F60-c-Familie misst die Schichtdicke und den Brechungsindex genau wie unsere F50-Produkte, verfügt aber zusätzlich über eine Reihe von Funktionen, die speziell für Produktionsumgebungen gedacht sind. Dazu gehören die automatische Notch-Erkennung, die automatische On-Board-Baselining-Funktion, ein geschlossener Messtisch mit Bewegungsverriegelung, ein Industriecomputer mit vorinstallierter Software und ein Roboter-Handling von Kassette zu Kassette. Das überarbeitete F60-c kombiniert die Filmetrics Schichtdicken-Mapping-Technologie mit der verbesserten Automatisierung der Produktionsmesssysteme von KLA Instruments™.

Die verschiedenen F60-c Instrumente unterscheiden sich in erster Linie durch die Schichtdicken- und Wellenlängenbereiche. Im Allgemeinen sind kürzere Wellenlängen (z.B. F60-c-UV) erforderlich, um dünnere Schichten zu messen, während längere Wellenlängen die Messung dickerer, rauerer und undurchsichtigerer Schichten ermöglichen.