F54

Automatisierte Messung der Schichtdickenverteilung

Das F54 misst Schichtdickenverteilungen an Proben bis zu einem Durchmesser von 450 mm einfach und schnell durch die Auswertung der spektralen Reflektivität. Mit einer Geschwindigkeit von bis zu 2 Punkten pro Sekunde fährt der motorisierte r-theta Messtisch ein zuvor festgelegtes Punktemuster ab und erstellt somit eine Karte der gemessenen Schichtdickenwerte.

Wählen Sie unter Dutzenden verfügbarer Linien-, Kreis- und Rechteckmuster aus oder erstellen Sie Ihre eigenen Karten ohne Beschränkung hinsichtlich der Zahl der Messpunkte. Das komplette System ist in minutenschnelle betriebsbereit und ist für jedermann mit grundlegenden Computerkenntnissen ohne Schwierigkeiten bedienbar.

Das F54 Schichtdicken-Mapping-System kann innerhalb weniger Minuten über eine USB-Schnittstelle an Ihren Windows Rechner angeschlossen und in Betrieb genommen werden.

Die erhältlichen Geräteversionen unterscheiden sich in erster Linie in ihren Schichtdicken- bzw. Wellenlängenbereichen. Grundsätzlich werden kürzere Wellenlängen benötigt, um dünnere Schichten messen zu können (z.B. F54-UV), während längere Wellenlängen die Vermessung von dickeren, rauheren und weniger lichtdurchlässigen Schichten ermöglichen (z.B. F54-NIR).