Lieferumfang:
- Integrierte Spektrometer-/Lichtquellen-Einheit
- Glasfaserkabel
- 4", 6" and 200mm Referenz-Wafer
- TS-SiO2-4-7200 Schichtdickenstandard
- BK7 Referenz-Material
- Absorptionsfilter (für hochreflektive Substrate)
- Vakuumpumpe
- Ersatzbirne TH-1
Modellspezifikationen
Modell | Schichtdickenbereich* | Wellenlängenbereich |
---|---|---|
F50 | 20nm-70µm | 380-1050nm |
F50-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
F50-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
F50-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
F50-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
F50-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
F50-s980 | 4µm-1mm | 960-1000nm |
F50-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
F50-s1550 | 10µm-3mm | 1520-1580nm |
Schichtdickenbereich*
Zusätzliche Vorteile:
- Datenbank mit über 130 Materialien im Lieferumfang jedes Systems enthalten, dazu Zugang zu hunderten weiteren.
- Applikationsingenieure sind 24 Stunden (Mo-Fr) für direkten Support verfügbar
- Interaktiver Online-Support (Internetverbindung erforderlich)
- Hardware Upgrade Programm
Übliches optionales Zubehör:
- NIST-zurückführbarer Schichtdickenstandard
- F50 Probenhalter - 100mm, 200mm, 300mm, und 450mm (F50-450 erforderl für 450mm Probenhalter)
- F50 Small Spot Option, VIS oder UV