F30 Serie
Ein vielseitiges Tool zur Überwachung der Dünnschichtabscheidung
Messen Sie Abscheideraten, Schichtdicken, optische Konstanten (n und k) und die Uniformität von Halbleitern und dielektrischen Schichten in Echtzeit mit dem F30 System.
Beispielschichten
MBE und MOCVD: Glatte und lichtdurchlässige, oder geringfügig asorbierende Filme können vermessen werden. Das schließt nahezu sämtliche Halbleiter, von AIGaN bis GaInAsP, ein.
Vorteile:
- Verbessert die Produktivität deutlich
- Niedrige Kosten - Kann sich innerhalb weniger Monate amortisieren
- Genau - Messung besser als ±1%
- Schnell - Schichtdickenmessung in Sekunden
- Nichtzerstörend - Vollständig außerhalb der Ablagerungskammer
- Einfach zu verwenden - Intuitive Windows™ Software
- Das "schlüsselfertige" Schichtdickenmessgerät kann innerhalb von Minuten eingerichtet werden
Modellspezifikationen
| Modell | Schichtdickenbereich* | Wellenlängenbereich |
|---|---|---|
| F30 | 15nm-70µm | 380-1050nm |
| F30-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
| F30-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| F30-UV | 3nm-40µm | 190-1100nm |
| F30-UVX | 3nm - 250µm | 190-1700nm |
| F30-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
